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　　聚合物热分解法主要是指加热聚硅烷等聚合物，放出小单体，形成Si-C骨架。由热解法制备的SiC均为b-SiC。如果热解温度低于1100℃，则为无定形SiC。 气相法是用含硅的原料和含碳的原料通过气相反应生成SiC。根据加热方式的不同可分为电阻炉和火焰加热法、等离子和电弧加热法、激光加热法等。
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